மாதிரி குறியீடு

வேலை மண்டலத்தின் பரிமாணம் மிமீ

சுமை தாங்கும் திறன் கிலோகிராம் 

அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை

நீளம்

அகலம்

உயரம்

பிஜே-டிஎஸ்ஜே

322

300

200

200

100

1600℃ / 2200℃ / 2800℃

பிஜே-டிஎஸ்ஜே

633

600

300

300

200

1600℃ / 2200℃ / 2800℃

பிஜே-டிஎஸ்ஜே

933

900

300

300

400

1600℃ / 2200℃ / 2800℃

பிஜே-டிஎஸ்ஜே

1244

1200

400

400

600

1600℃ / 2200℃ / 2800℃

பிஜே-டிஎஸ்ஜே

1855

1800

500

500

1000

1600℃ / 2200℃ / 2800℃

வெப்பநிலை சீரான தன்மை:1300℃-இல் ≤±5℃; 1600℃-இல் ≤±10℃; 1600℃-க்கு மேல் ≤±20℃

அல்டிமேட் வேக்யூம்:4.0*10^-1 பா/ 6.7*10^-3பா ;

அழுத்த அதிகரிப்பு விகிதம்:≤0.67 பாஸ்கல்/மணி ;

வாயு குளிர்விப்பு அழுத்தம்:<2 பார்.