PJ-PSD பிளாஸ்மா நைட்ரைடிங் உலை
முக்கிய விவரக்குறிப்பு
பண்புகள்:
1) நைட்ரைடிங் வேகம் வேகமாக உள்ளது, நைட்ரைடிங் சுழற்சியை சரியான முறையில் குறைக்கலாம், மேலும் அயனி நைட்ரைடிங் நேரத்தை வாயு நைட்ரைடிங் நேரத்தின் 1/3-2/3 ஆகக் குறைக்கலாம்.
2) நைட்ரைடிங் அடுக்கின் உடையக்கூடிய தன்மை சிறியது, மேலும் பிளாஸ்மா நைட்ரைடிங்கின் மேற்பரப்பில் உருவாகும் வெள்ளை அடுக்கு மிகவும் மெல்லியதாக இருக்கும், அல்லது எதுவும் இல்லை. கூடுதலாக, நைட்ரைடிங் அடுக்கால் ஏற்படும் சிதைவு சிறியது, இது சிக்கலான வடிவங்களைக் கொண்ட துல்லியமான பகுதிகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
3) ஆற்றல் மற்றும் அம்மோனியா நுகர்வு சேமிக்கப்படலாம். மின்சார ஆற்றல் நுகர்வு வாயு நைட்ரைடிங்கிற்கு 1/2-1/5 ஆகவும், அம்மோனியா நுகர்வு வாயு நைட்ரைடிங்கிற்கு 1/5-1/20 ஆகவும் உள்ளது.
4) நைட்ரைடிங்கை விரும்பாத பகுதி பளபளப்பை உருவாக்காத வரை, உள்ளூர் நைட்ரைடிங்கை உணர்ந்து கொள்வது எளிது, நைட்ரைடிங் அல்லாத பகுதியைப் பாதுகாப்பது எளிது, மேலும் பளபளப்பை இயந்திரக் கவசம் மற்றும் இரும்புத் தகடு மூலம் பாதுகாக்க முடியும்.
5) அயன் குண்டுவீச்சு மேற்பரப்பை சுத்திகரித்து, செயலற்ற படலத்தை தானாகவே அகற்றும். துருப்பிடிக்காத எஃகு மற்றும் வெப்ப-எதிர்ப்பு எஃகு ஆகியவற்றை செயலற்ற படலத்தை முன்கூட்டியே அகற்றாமல் நேரடியாக நைட்ரைடு செய்யலாம்.
6) கூட்டு அடுக்கு அமைப்பு, ஊடுருவல் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் அமைப்பைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.
7) சிகிச்சை வெப்பநிலை வரம்பு பரந்த அளவில் உள்ளது, மேலும் 350 C க்கும் குறைவாக இருந்தாலும் நைட்ரைடிங் அடுக்கின் ஒரு குறிப்பிட்ட தடிமன் பெறலாம்.
8) தொழிலாளர் நிலைமைகள் மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளன. மாசு இல்லாத மற்றும் பிளாஸ்மா நைட்ரைடிங் சிகிச்சை மிகக் குறைந்த அழுத்தத்தின் கீழ் மிகக் குறைந்த வெளியேற்ற வாயுவுடன் மேற்கொள்ளப்படுகிறது. வாயு மூலமாக நைட்ரஜன், ஹைட்ரஜன் மற்றும் அம்மோனியா உள்ளன, மேலும் அடிப்படையில் எந்த தீங்கு விளைவிக்கும் பொருட்களும் உற்பத்தி செய்யப்படுவதில்லை.
9) துருப்பிடிக்காத எஃகு, அதிக நைட்ரைடிங் வெப்பநிலையுடன் கூடிய வெப்ப-எதிர்ப்பு எஃகு, குறைந்த நைட்ரைடிங் வெப்பநிலையுடன் கூடிய கருவி எஃகு மற்றும் துல்லியமான பாகங்கள் உட்பட அனைத்து வகையான பொருட்களிலும் இதைப் பயன்படுத்தலாம், அதே நேரத்தில் குறைந்த வெப்பநிலை நைட்ரைடிங் வாயு நைட்ரைடிங்கிற்கு மிகவும் கடினம்.
மாதிரி | அதிகபட்ச சராசரி மின்னோட்டம் | அதிகபட்ச சிகிச்சை மேற்பரப்பு பகுதி | பயனுள்ள வேலை அளவு(மிமீ)) | வெளியீட்டு மின்னழுத்தம் | மதிப்பிடப்பட்ட வெப்பநிலை | அல்டிமேட் பிரஷர் | அழுத்தம் அதிகரிக்கும் விகிதம் |
பிஜே-பிஎஸ்டி 25 | 50அ | 25000 செ.மீ2 | 640×1000 அளவு: 1000×1000 | 0~1000வி | 650℃ வெப்பநிலை | ≤6.7 பாக்கா | ≤0.13Pa/நிமிடம் |
பிஜே-பிஎஸ்டி 37 | 75ஏ | 37500 செ.மீ2 | 900×1100 அளவு | 0~1000வி | 650℃ வெப்பநிலை | ≤6.7 பாக்கா | ≤0.13Pa/நிமிடம் |
பிஜே-பிஎஸ்டி 50 | 100A (100A) என்பது | 50000 செ.மீ2 | 1200×1200 அளவு | 0~1000வி | 650℃ வெப்பநிலை | ≤6.7 பாக்கா | ≤0.13Pa/நிமிடம் |
பிஜே-பிஎஸ்டி 75 | 150 ஏ | 75000 செ.மீ2 | 1500×1500 | 0~1000வி | 650℃ வெப்பநிலை | ≤6.7 பாக்கா | ≤0.13Pa/நிமிடம் |
பிஜே-பிஎஸ்டி100 | 200A (200A) என்பது | 100000 செ.மீ2 | 1640×1600 | 0~1000வி | 650℃ வெப்பநிலை | ≤6.7 பாக்கா | ≤0.13Pa/நிமிடம் |